1 简介

真(zhen)空泵是一种(zhong)旋转式(shi)变容真(zhen)空泵须有前级泵配合方(fang)可使用(yong)在较宽的压(ya)力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和(he)水蒸汽不敏(min)感(gan)广泛用(yong)于冶(ye)金、化(hua)工、食品、电(dian)子镀(du)膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力范围内有较大(da)的(de)抽(chou)速；

(2)转子具有良好的几何对称(cheng)性，故振动(dong)小，运(yun)转平稳。转子间(jian)及转子和壳体(ti)间(jian)均(jun)有间(jian)隙，不用润滑，摩擦(ca)损(sun)失小，可大(da)大(da)降低驱动(dong)功率(lv)，从而可实现较高转速(su)；

(3)泵腔(qiang)内无需用(yong)油密封和润滑(hua)，可减少油蒸气对真空系统的污染；

(4)泵(beng)腔内无压(ya)缩，无排气(qi)(qi)阀。结构(gou)简单、紧凑，对被抽气(qi)(qi)体中的(de)灰尘和水蒸汽不敏(min)感；

(5)压缩(suo)比(bi)较低，对氢气(qi)抽气(qi)效果(guo)差；

(6)转子表面(mian)(mian)为(wei)形(xing)状较(jiao)为(wei)复杂的曲(qu)线柱面(mian)(mian)，加工和检查比较(jiao)困难。

3 结构

（1） 泵(beng)总(zong)体结构型式(shi)

真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)泵(beng)体的(de)布置结构决定了泵(beng)的(de)总体结构。

立式结构的进、排气口水平设(she)置(zhi)，装(zhuang)配和(he)连接管路都比较方便(bian)。但泵(beng)的重心(xin)较高(gao)，在高(gao)速运转(zhuan)时(shi)稳定(ding)性差，故这种型式多用于(yu)小泵(beng)。

卧式(shi)泵的(de)(de)进气(qi)(qi)口在上，排气(qi)(qi)口在下。有时为了真空系统(tong)管道安装连接方(fang)便，可(ke)将排气(qi)(qi)口从(cong)水平方(fang)向(xiang)(xiang)接出(chu)，即进、排气(qi)(qi)方(fang)向(xiang)(xiang)是相互垂直(zhi)的(de)(de)。此时，排气(qi)(qi)口可(ke)以从(cong)左或右(you)两(liang)个(ge)方(fang)向(xiang)(xiang)开口，除接排气(qi)(qi)管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结(jie)构重(zhong)心低，高速运转时稳(wen)定性好。一般(ban)大、中(zhong)型泵多(duo)采用此种结(jie)构。

泵(beng)的两个(ge)转(zhuan)子(zi)轴(zhou)与(yu)水平面(mian)(mian)垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转(zhuan)子(zi)装配方(fang)便(bian)，泵(beng)占(zhan)地面(mian)(mian)积小。但泵(beng)重(zhong)心较高且齿轮拆装不便(bian)，润(run)滑(hua)机(ji)构也(ye)相对复杂。

（2） 泵的(de)传动(dong)方式(shi)

真空泵的(de)(de)(de)(de)两(liang)(liang)个转(zhuan)子是(shi)通(tong)过(guo)(guo)(guo)一对高精(jing)度(du)齿轮(lun)来实现其相(xiang)对同步运转(zhuan)的(de)(de)(de)(de)。主动(dong)(dong)轴(zhou)通(tong)过(guo)(guo)(guo)联(lian)轴(zhou)器与电机联(lian)接。在(zai)传动(dong)(dong)结构(gou)布置上主要有(you)以下两(liang)(liang)种：其一是(shi)电动(dong)(dong)机与齿轮(lun)放在(zai)转(zhuan)子的(de)(de)(de)(de)同一侧如图(tu)。从动(dong)(dong)转(zhuan)子由电动(dong)(dong)机端齿轮(lun)直接传过(guo)(guo)(guo)去带动(dong)(dong)，这样主动(dong)(dong)转(zhuan)子轴(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形(xing)小，则两(liang)(liang)个转(zhuan)子之(zhi)(zhi)间的(de)(de)(de)(de)间隙不(bu)会因主动(dong)(dong)轴(zhou)的(de)(de)(de)(de)扭转(zhuan)变形(xing)大(da)而改变，故使转(zhuan)子之(zhi)(zhi)间的(de)(de)(de)(de)间隙在(zai)运转(zhuan)过(guo)(guo)(guo)程中均匀。这种传动(dong)(dong)方式(shi)的(de)(de)(de)(de)最大(da)缺点是(shi)：a.主动(dong)(dong)轴(zhou)上有(you)三个轴(zhou)承，增加(jia)了(le)泵的(de)(de)(de)(de)加(jia)工和装配难度(du)，齿轮(lun)的(de)(de)(de)(de)拆(chai)装及调整也(ye)不(bu)便；b.整体(ti)结构(gou)不(bu)匀称，泵的(de)(de)(de)(de)重心(xin)偏向电动(dong)(dong)机和齿轮(lun)箱一侧。

    极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”是(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵的(de)(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)重要参数，是(shi)(shi)反应(ying)泵抽(chou)(chou)气能(neng)力(li)的(de)(de)(de)特性值(zhi)(zhi)，是(shi)(shi)与(yu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵相关(guan)的(de)(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)数值(zhi)(zhi)，不同(tong)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵可以(yi)有(you)不同(tong)的(de)(de)(de)“极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”度(du)。而“理论(lun)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”是(shi)(shi)理论(lun)研究(jiu)时的(de)(de)(de)一(yi)个(ge)(ge)概念，是(shi)(shi)排除各种实际因素的(de)(de)(de)影响而提炼出的(de)(de)(de)一(yi)种最理想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)状(zhuang)态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)容器经充分抽(chou)(chou)气后，稳(wen)定在某(mou)一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)称(cheng)为(wei)(wei)极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)。通常(chang)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)容器须(xu)经12小时炼气，再经12小时抽(chou)(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)，最后一(yi)个(ge)(ge)小时每隔10分钟测量一(yi)次，取其10次的(de)(de)(de)平均(jun)值(zhi)(zhi)为(wei)(wei)极(ji)(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)值(zhi)(zhi)。